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PMMA微流控芯片高效鍵合工藝

2012-11-02   瀏覽次數(shù):700

  PMMA微流控芯片高效鍵合工藝

  中南大學(xué)利用有限元軟件對聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片鍵合過程進行仿真分析,而后以縮短鍵合時間為目的,針對鍵合溫度、鍵合壓力進行了相應(yīng)的實驗研究。結(jié)果表明,當(dāng)鍵合溫度低于聚合物材料的玻璃化轉(zhuǎn)變溫度時,芯片易產(chǎn)生未鍵合 區(qū)域,當(dāng)鍵合溫度高于玻璃化轉(zhuǎn)變溫度時,微通道隨溫度的升高發(fā)生嚴重變形,最佳鍵合溫度值應(yīng)在材料玻璃化轉(zhuǎn)變溫度附近進行選取;鍵合溫度10590、鍵合壓力1. 0 MPa時,可在5 min的鍵合時間內(nèi)得到微通道變形較小且完全鍵合的微流控芯片,滿足模內(nèi)鍵合的需求,大大縮短了芯片的制造周期。

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